光纤布拉格光栅飞秒激光直写工作站:飞秒激光写入无限长度或结构的布拉格光栅的主要优点是不使用相位掩模。 飞秒激光器可以应用于点逐点(PbP)和线逐线(LbL),在各种光纤中,包括多芯光纤中刻写多达二级FBG。 PbP书写的最小间距为~1µm。
多光子聚合激光微加工工作站用于对具有纳米分辨率的微米级物体进行3D结构化。我们开发的激光微加工工作站可在单个基板上实现增材制造和减材制造的结合。
微结构加工服务 激光微加工 微结构激光刻蚀 1,电子束曝光系统; 2,聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统; 3,双面对准接触式紫外光刻机; 4, 单面对准紫外光刻机; 5,金属高密度等离子体刻蚀机; 6,硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机; 7,反应等离子体刻蚀机; 8,纳米压印机。