全国服务咨询热线:

15618996225

当前位置:首页  >  产品中心  >  光谱影像类  >  光源  >  TEUS S-100荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

简要描述:ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在全球范围内获得专li。荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

  • 产品型号:TEUS S-100
  • 更新时间:2023-07-05
  • 访  问  量:538

产品简介

品牌其他品牌价格区间10万-15万
照射方式内照式光源种类氙灯光源
应用领域医疗卫生,化工,电子,航天,电气

详细介绍

荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品介绍:

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。

ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在全球范围内获得专li

产品特点:

·高亮度以及出色的稳定性

·最少的碎片

·ji高的正常运行时间

·高占空比和交钥匙操作

·用户友好的自动化协议,确保系统平稳运行,没有中断的风险。

产品应用:

·掩模和表面检查:

·图案掩模检测 (PMI)

·区域掩模检测 (AIMS)

·掩模空白检测 (MBI)

·EUV 扫描仪检

·材料科学

·晶圆检查


     TEUS 系列激光等离子体光源

型号参数:

型号

TEUS S-100

TEUS S-200

TEUS S-400

激光平均功率100

400



脉冲重频2550100EUV功率立体角0.05




等离子体尺寸m

60 4  (13.5 nm±2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr


碎片处理系统后角内光通量11 22 44 W/mm2·sr

 80  280

 310≥ 3% rms


10%

不少于4个月

不少于24/7运行状态下,使用特殊膜过滤器情况下,收集器寿命下降18个月

不少于4个月

维护时间间隔

 - 1 

 - 2

 - 1

***

3个月

5 kW

10.5 kW

尺寸(长×宽×高)1500×1200




重量,包括激光组件770




房间洁净度等级

101525/分钟


产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

021-62209657

电子邮箱:sales@eachwave.com

公司地址:上海市闵行区剑川路955号707-709室

业务咨询微信