荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

简要描述：ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专li。荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品型号：TEUS S-100
更新时间：2023-07-05
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光谱影像类

双单色仪光谱仪成像相机及镜头光源超连续谱激光器白光光源红外观察仪及防护镜单色仪防晒系数测量仪（SPF）光度计/积分球

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产品简介

品牌	其他品牌	价格区间	10万-15万
照射方式	内照式	光源种类	氙灯光源
应用领域	医疗卫生,化工,电子,航天,电气

详细介绍

荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品介绍：

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有ji高的亮度和ji高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。

ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专li。

产品特点：

·高亮度以及出色的稳定性

·最少的碎片

·ji高的正常运行时间

·高占空比和交钥匙操作

·用户友好的自动化协议，确保系统平稳运行，没有中断的风险。

产品应用：

·掩模和表面检查：

·图案掩模检测 (PMI)

·区域掩模检测 (AIMS)

·掩模空白检测 (MBI)

·EUV 扫描仪检

·材料科学

·晶圆检查

TEUS 系列激光等离子体光源

型号参数：

型号	TEUS S-100	TEUS S-200	TEUS S-400
激光平均功率100	400
脉冲重频25或50或100或EUV功率立体角0.05
等离子体尺寸m	60或≤ 4≤ (13.5 nm±2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr
碎片处理系统后角内光通量11 或22 或44 或W/mm2·sr	80或≥≥ 280	310或≥ 3% rms
在10%	不少于4个月	不少于24/7运行状态下，使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降18个月	不少于4个月
维护时间间隔	- 1 天	- 2天	- 1天
***	3个月	5 kW	10.5 kW
尺寸（长×宽×高）1500×1200
重量，包括激光组件770
房间洁净度等级	10升15升25升/分钟

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