微结构加工服务激光微加工激光刻蚀

简要描述：微结构加工服务激光微加工微结构激光刻蚀
1，电子束曝光系统；
2，聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统；
3，双面对准接触式紫外光刻机；
4，单面对准紫外光刻机；
5，金属高密度等离子体刻蚀机；
6，硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机；
7，反应等离子体刻蚀机；
8，纳米压印机。

产品型号：激光微加工服务
更新时间：2023-10-30
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镀膜和加工

激光微加工镀膜微结构加工服务

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产品简介

品牌	旌派	产地类别	进口
应用领域	电子

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上海屹持光电技术有限公司专业提供各种微纳结构加工服务

典型案例：

FIB加工微纳结构紫外光刻微纳结构

单晶硅反应离子刻蚀图片

ICP 刻蚀微纳结构

纳米压印点线图

微流控细胞打印

EBL 刻写微纳阵列

FIB 用于器件电极沉积

激光直写图案

激光直写器件

微纳结构加工主要设备

1，电子束曝光系统；

2，聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统；

3，双面对准接触式紫外光刻机；

4，单面对准紫外光刻机；

5，金属高密度等离子体刻蚀机；

6，硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机；

7，反应等离子体刻蚀机；

8，纳米压印机。

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