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微结构加工服务 激光微加工 激光刻蚀

简要描述:微结构加工服务 激光微加工 微结构激光刻蚀
1,电子束曝光系统;
2,聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统;
3,双面对准接触式紫外光刻机;
4, 单面对准紫外光刻机;
5,金属高密度等离子体刻蚀机;
6,硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机;
7,反应等离子体刻蚀机;
8,纳米压印机。

  • 产品型号:激光微加工服务
  • 更新时间:2023-10-30
  • 访  问  量:1781

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产品简介

品牌旌派产地类别进口
应用领域电子

详细介绍

上海屹持光电技术有限公司专业提供各种微纳结构加工服务

 

典型案例:

                                                           

          

                                                                         FIB加工微纳结构                                                           紫外光刻微纳结构

 

单晶硅反应离子刻蚀图片   

 

ICP 刻蚀微纳结构

 

纳米压印点线图

 

微流控细胞打印

 

EBL  刻写微纳阵列

 

 FIB 用于器件电极沉积

 

 激光直写图案

 

激光直写器件

 

微纳结构加工主要设备

1,电子束曝光系统;

2,聚焦离子束/ 扫描电子显微镜双束系统;

3,双面对准接触式紫外光刻机;

4, 单面对准紫外光刻机;

5,金属高密度等离子体刻蚀机;

6,硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机;

7,反应等离子体刻蚀机;

8,纳米压印机。

 

 

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