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硅片厚度测量仪

简要描述:硅片厚度测量仪SIT-200由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。

  • 产品型号:SIT-200
  • 更新时间:2023-03-30
  • 访  问  量:565

产品简介

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别其他应用领域电子

详细介绍

硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪(SIT-200)由精确可调激光光源,聚焦传感器,光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上,由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案,经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。


硅片厚度测量仪SIT-200产品特点:

l  全光学,非接触硅片厚度测试

l  高动态范围测量粗糙表面

l  湿法刻蚀过程中实时测量

高灵敏度         高精度           快速测量        远程控制


结构示意图

SIT-200

产品参数:

测量目标  

硅片  

测量厚度  

10-500μm

光源  

1515-1585nm扫描

功率  

0.6mwClass1

指示光源  

红光,Class1M

测量时间  

20ms

重复性  

0.1μm

输出监控  

干扰信号(电学)  

PC接口

网口  

供电  

100-240V50/60Hz

尺寸  

364 x 147 x 391mm

重量  

9kg




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